在精密光学检测领域,计算机生成全息图(CGH)是解决非球面、自由曲面检测的“终极利器”。但很多工程师在初次拿到这块复杂的衍射光学元件时,往往感到无从下手:面对密集的衍射阶次分不清信号光、找不到对准基准、更无法在干涉仪中快速复现设计位姿。
今天,我们就把复杂的检测流程拆解为五个标准化步骤。只要记住这几点,你也能像专家一样玩转CGH。
第一步:核对干涉仪与标准镜
CGH不是独立存在的,它必须与干涉仪配合。
首先,你要确认干涉仪的口径尺寸(通常是4英寸或6英寸)。更关键的是标准镜(TS)的F/#。CGH在设计时,是根据特定的会聚或发散波前计算的。如果你的标准镜Fno与设计要求不符,波前就无法正确耦合,甚至连光斑都找不到。
专家提醒: 开始前,务必核对使用说明文档,确保TS镜F/#略小于CGH要求的F/#。
第二步:辨别CGH正反
CGH是一块涂有铬膜或刻蚀有微纳结构的石英玻璃,具有严格的正反面之分。
原则: CGH的图形面(有刻蚀图案的一面)必须朝向待测镜。
辨别方法: 观察玻璃侧边的标识,或利用光反射观察图案的叠影。如果放反了,光线会先经过厚厚的石英基底产生不必要的像差,导致检测结果完全失效。

CGH正面观察(左),CGH背面观察(右)

CGH检测光路(图形面朝向待检测镜)
第三步:锁定“坐标”,找准Y+标识
CGH不仅是一个透镜,它还是一个物理坐标基准。
为了保证检测结果与设计文件(如Zemax模型)匹配,必须确定检测坐标系。正规的CGH表面都会刻蚀有坐标标识,通常是Y+标识。在安装入框时,务必将Y+标识对准支架的指定方向。只有坐标系对准了,后续的位姿调整才有意义。
CGH坐标系标识(左上角Y+)
第四步:定位CGH,善用“焦点遮挡”判断偏移
按照设计图纸将CGH放入光路后,新手常会发现光路中杂光极多。此时,“焦点遮挡”就是你的救命稻草。
我们在CGH的设计焦点处放置一个小孔或遮光片,利用它实现:
1. 判断偏移量: 这是最直观的物理标尺。观察干涉仪发出的参考光与返回光是否同时汇聚在小孔圆心。如果返回光斑偏离,说明位姿存在明显偏移。 通过调节5维调整架将光斑精准“喂”进小孔,系统即可初步对准。
2. 空间滤波: 遮光片能有效滤除不需要的衍射阶次杂光,净化干涉场,让条纹变得清晰易读。
第五步:位姿精调,追求残差最小化
最后一步是摆放并调整待测镜。利用干涉仪的辅助对准区域,将待测镜回馈光点与CGH主斑初步重合后,切换至检测模式,此时的操作逻辑根据镜子类型有所不同:
同轴非球面: 重点在于将条纹调至最稀疏。通过微调,将对应的彗差(Coma)和离焦(Power)调整到最小值,确保镜子与光轴完美对齐。
离轴非球面: 逻辑略有不同,重点在于保证光斑完全覆盖待测区域的同时,追求RMS(均方根误差)最小化。
结语
CGH检测是一场关于“由粗到精”的博弈。
从小孔对准的“毫米级”定位,到辅助光点的“微米级”靠拢,再到像差最小化的“纳米级”精调。每一步的标准化,都是为了最后的极致精度。
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