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柱面CGH选型指南|凹/凸柱面镜检测该怎么选CGH?

2026-08-22

导语

      柱面镜广泛应用于激光整形、光谱仪器、光刻、成像光学等领域。柱面镜的高精度面形检测,大多依靠柱面CGH(计算全息元件)完成零位干涉检测。柱面分为凹柱面、凸柱面两类,二者CGH选型约束条件并不相同。选型失误,不仅会出现波前覆盖不全、光路无法摆放、不能完成零位检测等测试问题,还会直接造成CGH采购错误,给企业带来时间与经济成本的浪费。今天我们拆解柱面CGH完整选型逻辑,帮大家避开选型坑点。

一、柱面CGH选型,重点关注3个核心变量

      在选型前,需要先提取待测柱面镜的3组关键参数,可借助宁波市知行光学官网选型插件完成参数预筛选(https://www.zhixingoptics.com/xuanxing)。

图1:待测柱面镜示意图


1、待测柱面镜曲率半径R

      柱面镜存在弯曲的曲率方向,R即为该方向的曲率半径,凹柱面、凸柱面均以该参数作为基础输入。

提示:曲率半径R是后续计算F#、凸柱面光路几何校核的核心基础参数,凸柱面检测时,还需要用R与CGH焦距做对比校验。


2、待测柱面镜F#(Fno,F数)

 

      柱面F#定义:F#=R/D1

-R:待测柱面曲率半径;

-D1:曲率方向的有效通光口径。

 

3、待测柱面镜母线长度 D2

      母线是柱面镜直线延伸的方向,为母线上的有效通光长度;垂直母线方向为曲率方向口径。

注意:

‑ 曲率方向:产生弯曲弧度的方向,对应口径D1;

‑ D2母线方向:柱面保持直线,没有曲率的延伸方向。

 

二、凹柱面镜 CGH 选型条件

      凹柱面放置在CGH焦点之后的发散柱面波区域完成零位检测,需要同时满足2个条件:

✅ 条件1:待测柱面母线长度 < 柱面CGH有效图案母线长度

      例:知行光学的3英寸CGH母线方向长度为60 mm,如柱面镜的大小为70mm,则母线方向太长,3英寸无法覆盖,需要使用更大尺寸的CGH。

✅ 条件2:柱面CGH F# < 待测凹柱面F# 

      > 保证曲率方向波前完整覆盖,不会出现口径截断。

图2:凹柱面镜测试情况

 

      小结:凹柱面镜选型相对友好。实验室常备小F#、中F#、大F#系列柱面CGH,基本就可以覆盖绝大多数凹柱面检测需求。


三、凸柱面镜 CGH 选型条件

 

      凸柱面检测光路与凹柱面完全不同,待测元件需要摆放在CGH与CGH焦点之间的会聚波前区域,实现CGH焦点与待测凸柱面焦点重合,因此多出多条硬性几何约束,一共4条条件必须全部同时满足:

 

✅条件1:待测柱面母线长度 < 柱面CGH有效图案母线长度

✅条件2:待测凸柱面F# > 柱面CGH F#,保证曲率方向波前完整覆盖

✅条件3:柱面CGH焦距 f >待测凸柱面曲率半径R

      > 原理:凸柱面要放在CGH和焦点之间,待测镜面距离焦点距离等于R;如果CGH焦距小于R,待测镜会跑到焦点外侧,光路几何上无法摆放,不能完成零位检测。

✅条件4:实测选型预留安全操作间距

      > 现场实际检测过程中,需要预留调试、对位的操作空间,为避免柱面镜与CGH发生物理碰撞、挤压损伤镜片,选型时待测柱面镜的母线长度、通光尺寸需比CGH有效图案尺寸小10mm以上,保障检测操作安全、光路调试顺畅。


图3:凸柱面镜测试情况

      干涉仪‑CGH‑待测凸镜‑CGH焦点;CGH焦距f必须大于待测R,待测件放置于CGH与焦点中间。

重点提醒:

      凸柱面需要同时满足多维度约束:

      1)待测F#>CGH‑F#;

      2)CGH焦距>待测曲率半径R;

      3)待测镜片尺寸相较CGH预留10mm以上安全间距。

      对于柱面CGH,受R与F#的正比例关系影响,小F#对应小焦距;叠加“CGH焦距需要大于待测R”这一硬性条件后,大半径、小F#的凸柱面镜,可匹配的CGH可选区间被大幅压缩,选型空间非常狭小,

      示例:对于一款R 120mm,D1 80mm,D2 50mm的凸柱面,使用选型工具判断后,可选柱面范围为6英寸F 1.11-F 1.4区间,标准品F1(ZX6100)和F1.5(ZX)均无法覆盖。

 

图4:柱面选型案例(R 120 mm,D1 80mm,D2 50 mm)

      如果只满足F#条件,但CGH焦距小于R,即便波前覆盖没问题,光路物理上放不进去,依然无法测量;若尺寸未预留安全间距,还会存在镜片碰撞损坏的风险。

 

      因此,想要覆盖多种规格凸柱面检测,实验室需要配备一整套不同焦距、不同F#的柱面CGH,同时严格把控尺寸安全间距,兼顾检测精度与操作安全性。

 

四、选型总结

1. 凹柱面镜

      仅需满足母线长度、F#匹配两项条件,选型难度低;储备小、中、大F#系列CGH,即可覆盖大部分凹柱面测试任务。

2.凸柱面镜

      需要同时满足母线尺寸覆盖、F#匹配、CGH焦距>待测R、实测安全间距预留四项条件;大R、小F#凸柱面可匹配CGH非常有限,前期必须做几何校核与尺寸校核,不能只看F#参数。

> 实操建议:

      ①优先使用知行光学线上选型工具做预筛选;

      ②凸柱面务必核对CGH焦距,不要只比对F#;

      ③拿到候选CGH后,复算光路几何距离,严格预留10mm以上安全间距,杜绝镜片碰撞风险。

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