EN
Loading...

Halcon圆点标定板

产品系列:机器视觉标定板

全维度的材料与规格选型库:多样化基底,多尺寸/厚度覆盖,定制化膜层

亚微米级位置精度(Position Accuracy < 100 nm):针对高端半导体检测及精密计量需求,知行光学挑战物理加工极限,依托 3-sigma < 50 nm 的激光直写系统,我们将特征点间的相对位置误差严格控制在 100 nm 以内。

超高分辨加工能力(Feature Size < 500 nm):具备小于 500 nm 的最小特征尺寸加工能力,图形边缘平整度极高。确保在高倍率物镜或高像素传感器下,特征边缘依然清晰、无毛刺,极大提升了中心定位算法的稳定性与精度。

闭环式综合解决方案支撑能力:专家级选型指导,全链条工程实施,高精度工装支持,全参数性能检测

立即询价
材质特性对比表
材质概述 玻璃 陶瓷
优点 · 表面平整度高,面型精度好
· 透光性90%以上,可做透射式标定
· 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现
· 成像清晰
· 石英玻璃受温湿度影响极低
· 刚性强、硬度高,抗冲击不易碎裂
· 热膨胀系数低,尺寸稳定性极佳
· 耐高温、耐酸碱,环境适应性强
· 对比度高
缺点 · 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂
· 正面补光易反光
· 平整度略逊于光学玻璃,超高精度受限
· 无法实现透射式光路使用
· 图案精细度极限略低于玻璃
表面工艺 镀铬 镀铬
基板厚度 2.3mm(公差±0.1mm)
3mm/4.8mm(公差±0.2mm)
7.8mm
1mm/1.7mm(公差±0.3mm)
表面粗糙度 Ra ≤0.05μm(镜面级) 0.1~0.4 μm(哑光 / 细磨面)
可见光透过率 85%~95%(透明) 0%(不透明,仅漫反射)
热膨胀系数 K9:7.1 × 10⁻⁶/℃
B270:9.4 × 10⁻⁶/℃
石英:5.0~5.5 × 10⁻⁷/℃
苏打:8.5~9.5 × 10⁻⁶/℃
6.5~8.0 ×10⁻⁶ /℃
0.02×10⁻⁶ /℃
适用波长范围

紫外区:石英(185nm起),K9 :(>350nm)

红外区:石英:(~3500nm),K9 / 苏打:(2100–2200nm)

可见光区:三者均良好,石英更优

不透光,无适用波长
硬度与抗划伤 莫氏 5.5~6,易划伤 莫氏 8~9,高耐磨
适用光路 透射式 + 反射式 仅反射式
典型应用 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 工业现场、机器视觉、车载视觉、恶劣环境

联系我们