对于常规非球面检测,其主要分为同轴凹非球面检测和同轴凸非球面检测
1、同轴凹非球面
同轴凹非球面的设计通常按照所使用的载频(分为倾斜载频和离焦载频,用于将所需衍射光与杂散光进行空间分离)种类进行区分:
a.通过倾斜载频分离鬼像

设计光路

鬼像分析
波前精度
条纹密度
通过离焦载频分离鬼像

设计光路

鬼像分析
波前精度
条纹密度
2、同轴凸非球面
同轴凸非球面的设计通常按照所使用的干涉仪标准镜(分为平面标准镜和球面标准镜)种类进行区分:
a.基于平面波设计

设计光路

鬼像分析
波前精度
条纹密度
b.基于球面波设计

设计光路

鬼像分析
波前精度
条纹密度































