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非球面CGH

产品系列:非球面CGH

参数项 技术指标
尺寸(Dimension) 6英寸、9英寸、12英寸
检测精度 (Accuracy) 最高可达 1 nm RMS
检测位姿(Measurement Pose) 卧式(光轴水平),立式(光轴垂直)
加工设备精度 (Lithography) 3-sigma < 50 nm(最高可达10nm)
常规交期 (Standard) 7-10天
最快交期 (Fast-track) 3 天(满足研发紧急攻关)

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常规非球面检测

对于常规非球面检测,其主要分为同轴凹非球面检测和同轴凸非球面检测

1、同轴凹非球面

      同轴凹非球面的设计通常按照所使用的载频(分为倾斜载频和离焦载频,用于将所需衍射光与杂散光进行空间分离)种类进行区分:

a.通过倾斜载频分离鬼像

设计光路



  • 鬼像分析


  • 波前精度


  • 条纹密度

 

通过离焦载频分离鬼像

设计光路



  • 鬼像分析


  • 波前精度


  • 条纹密度

 

2、同轴凸非球面

      同轴凸非球面的设计通常按照所使用的干涉仪标准镜(分为平面标准镜和球面标准镜)种类进行区分:

a.基于平面波设计

设计光路



  • 鬼像分析


  • 波前精度


  • 条纹密度

 

b.基于球面波设计

设计光路



  • 鬼像分析


  • 波前精度


  • 条纹密度

离轴非球面检测

对于离轴非球面检测,通常会将其摆正到机械轴与干涉仪光轴重合的位置进行设计,以方便现场使用

设计光路



  • 鬼像分析


  • 波前精度


  • 条纹密度

 

 

值得注意的是:通常情况下,非球面图纸上所提供的轮廓是基于机械轴坐标系给出的;而对于设计软件(如Zemax)中,需要输入的轮廓是基于非球面母镜光轴坐标系下的;因此需要借助投影法将机械坐标系下轮廓转化为非球面母镜光轴坐标系下轮廓


离轴三反装调

对于离轴三反装调,通过主三镜共基准CGH把原来复杂的装调过程转化为简单的面形检测过程

 

主三镜装调结果

非完整波前测试

对于非完整系统,使用CGH将不完整系统转化为可成像系统,在子系统的装调阶段通过多视场透射波前测试,就能看到它未来在完整系统中的表现,降低后期整体装调周期。

 

设计光路

 

CGH图案功能示意图

 

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