


产品系列:物镜板
全维度的材料与规格选型库:
多样化基底,多尺寸/厚度覆盖,定制化膜层
亚微米级位置精度(Position Accuracy < 100 nm):
针对高端半导体检测及精密计量需求,知行光学挑战物理加工极限,依托 3-sigma < 50 nm 的激光直写系统,我们将特征点间的相对位置误差严格控制在 100 nm 以内。
超高分辨加工能力(Feature Size < 500 nm):
具备小于 500 nm 的最小特征尺寸加工能力,图形边缘平整度极高。确保在高倍率物镜或高像素传感器下,特征边缘依然清晰、无毛刺,极大提升了中心定位算法的稳定性与精度。
闭环式综合解决方案支撑能力:
专家级选型指导,全链条工程实施,高精度工装支持,全参数性能检测
| 材质概述 | K9玻璃 | B270玻璃 | 石英玻璃 | 苏打玻璃 |
| 优点 | · 表面平整度高,面型精度好 · 透光性90%以上,可做透射式标定 · 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现 · 成像清晰 |
· 表面平整度高,面型精度好 · 透光性90%以上,可做透射式标定 · 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现 · 成像清晰 |
· 表面平整度高,面型精度好 · 透光性90%以上,可做透射式标定 · 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现 · 成像清晰 · 石英玻璃受温湿度影响极低 |
· 表面平整度高,面型精度好 · 透光性90%以上,可做透射式标定 · 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现 · 成像清晰 |
| 缺点 | · 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂 · 正面补光易反光 |
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂 · 正面补光易反光 |
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂 · 正面补光易反光 |
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂 · 正面补光易反光 |
| 表面工艺 | 镀铬 | 镀铬 | 镀铬 | 镀铬 |
| 基板厚度 | 2.3mm(公差±0.1mm) 3mm/4.8mm(公差±0.2mm) 7.8mm |
2.3mm(公差±0.1mm) 3mm/4.8mm(公差±0.2mm) 7.8mm |
2.3mm(公差±0.1mm) 3mm/4.8mm(公差±0.2mm) 7.8mm |
2.3mm(公差±0.1mm) 3mm/4.8mm(公差±0.2mm) 7.8mm |
| 表面粗糙度 Ra | ≤0.05μm(镜面级) | ≤0.05μm(镜面级) | ≤0.05μm(镜面级) | ≤0.05μm(镜面级) |
| 可见光透过率 | 85%~95%(透明) | 85%~95%(透明) | 85%~95%(透明) | 85%~95%(透明) |
| 热膨胀系数 | K9:7.1 × 10⁻⁶/℃ | B270:9.4 × 10⁻⁶/℃ | 石英:5.0~5.5 × 10⁻⁷/℃ | 苏打:8.5~9.5 × 10⁻⁶/℃ |
| 适用波长范围 | 紫外区 仅能透近紫外(>350 nm),深紫外(<300 nm)几乎不透。 红外区 红外截止在2100–2200 nm,超过后透过率快速下降。 可见光区(400–760 nm) 能良好透过 |
紫外区 B270 玻璃:仅可透长波近紫外(>330 nm),300 nm 以下深紫外几乎不透,厚度越大紫外截止波长越往长波偏移,不适用 UVB、深紫外检测场景。 红外区 B270 玻璃:红外截止约 3050 nm,780–2500 nm 近红外波段高透稳定,2500 nm 以上透过率逐步衰减。 可见光区(400–760 nm) B270 低铁无发绿底色,可见光平均透过率 91%~92%; |
紫外区 石英玻璃:可透深紫外(185 nm 起),适合紫外光源、光刻、紫外检测。 红外区 石英玻璃:红外截止最远(~3500 nm),近红外透过率更高、更稳定。 可见光区(400–760 nm) 石英玻璃透过率略高、色散更低。 |
紫外区 苏打玻璃:紫外截止最早(~360 nm),基本不能用于紫外应用。 红外区 苏打:红外截止在2100–2200 nm,超过后透过率快速下降。 可见光区(400–760 nm) 能良好透过。 |
| 硬度与抗划伤 | 莫氏 5.5~6,易划伤 | 莫氏 5.5~6,易划伤 | 莫氏 5.5~6,易划伤 | 莫氏 5.5~6,易划伤 |
| 适用光路 | 透射式 + 反射式 | 透射式 + 反射式 | 透射式 + 反射式 | 透射式 + 反射式 |
| 典型应用 | 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 | 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 | 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 | 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 |
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