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物镜测微尺

产品系列:物镜板

全维度的材料与规格选型库:

多样化基底,多尺寸/厚度覆盖,定制化膜层

亚微米级位置精度(Position Accuracy < 100 nm):

针对高端半导体检测及精密计量需求,知行光学挑战物理加工极限,依托 3-sigma < 50 nm 的激光直写系统,我们将特征点间的相对位置误差严格控制在 100 nm 以内。

超高分辨加工能力(Feature Size < 500 nm):

具备小于 500 nm 的最小特征尺寸加工能力,图形边缘平整度极高。确保在高倍率物镜或高像素传感器下,特征边缘依然清晰、无毛刺,极大提升了中心定位算法的稳定性与精度。

闭环式综合解决方案支撑能力:

专家级选型指导,全链条工程实施,高精度工装支持,全参数性能检测

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材质概述 K9玻璃 B270玻璃 石英玻璃 苏打玻璃
优点 · 表面平整度高,面型精度好
· 透光性90%以上,可做透射式标定
· 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现
· 成像清晰
· 表面平整度高,面型精度好
· 透光性90%以上,可做透射式标定
· 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现
· 成像清晰
· 表面平整度高,面型精度好
· 透光性90%以上,可做透射式标定
· 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现
· 成像清晰
· 石英玻璃受温湿度影响极低
· 表面平整度高,面型精度好
· 透光性90%以上,可做透射式标定
· 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现
· 成像清晰
缺点 · 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂
· 正面补光易反光
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂
· 正面补光易反光
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂
· 正面补光易反光
· 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂
· 正面补光易反光
表面工艺 镀铬 镀铬 镀铬 镀铬
基板厚度 2.3mm(公差±0.1mm)
3mm/4.8mm(公差±0.2mm)
7.8mm
2.3mm(公差±0.1mm)
3mm/4.8mm(公差±0.2mm)
7.8mm
2.3mm(公差±0.1mm)
3mm/4.8mm(公差±0.2mm)
7.8mm
2.3mm(公差±0.1mm)
3mm/4.8mm(公差±0.2mm)
7.8mm
表面粗糙度 Ra ≤0.05μm(镜面级) ≤0.05μm(镜面级) ≤0.05μm(镜面级) ≤0.05μm(镜面级)
可见光透过率 85%~95%(透明) 85%~95%(透明) 85%~95%(透明) 85%~95%(透明)
热膨胀系数 K9:7.1 × 10⁻⁶/℃ B270:9.4 × 10⁻⁶/℃ 石英:5.0~5.5 × 10⁻⁷/℃ 苏打:8.5~9.5 × 10⁻⁶/℃
适用波长范围 紫外区
仅能透近紫外(>350 nm),深紫外(<300 nm)几乎不透。
红外区
红外截止在2100–2200 nm,超过后透过率快速下降。
可见光区(400–760 nm)
能良好透过
紫外区
B270 玻璃:仅可透长波近紫外(>330 nm),300 nm 以下深紫外几乎不透,厚度越大紫外截止波长越往长波偏移,不适用 UVB、深紫外检测场景。
红外区
B270 玻璃:红外截止约 3050 nm,780–2500 nm 近红外波段高透稳定,2500 nm 以上透过率逐步衰减。
可见光区(400–760 nm)
B270 低铁无发绿底色,可见光平均透过率 91%~92%;
紫外区
石英玻璃:可透深紫外(185 nm 起),适合紫外光源、光刻、紫外检测。
红外区
石英玻璃:红外截止最远(~3500 nm),近红外透过率更高、更稳定。
可见光区(400–760 nm)
石英玻璃透过率略高、色散更低。
紫外区
苏打玻璃:紫外截止最早(~360 nm),基本不能用于紫外应用。
红外区
苏打:红外截止在2100–2200 nm,超过后透过率快速下降。
可见光区(400–760 nm)
能良好透过。
硬度与抗划伤 莫氏 5.5~6,易划伤 莫氏 5.5~6,易划伤 莫氏 5.5~6,易划伤 莫氏 5.5~6,易划伤
适用光路 透射式 + 反射式 透射式 + 反射式 透射式 + 反射式 透射式 + 反射式
典型应用 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定

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