



产品系列:光学掩膜版
全维度的材料与规格选型库:
多样化基底,多尺寸/厚度覆盖,定制化膜层
亚微米级位置精度(Position Accuracy < 100 nm):
针对高端半导体检测及精密计量需求,知行光学挑战物理加工极限,依托 3-sigma < 50 nm 的激光直写系统,我们将特征点间的相对位置误差严格控制在 100 nm 以内。
超高分辨加工能力(Feature Size < 500 nm):
具备小于 500 nm 的最小特征尺寸加工能力,图形边缘平整度极高。确保在高倍率物镜或高像素传感器下,特征边缘依然清晰、无毛刺,极大提升了中心定位算法的稳定性与精度。
闭环式综合解决方案支撑能力:
专家级选型指导,全链条工程实施,高精度工装支持,全参数性能检测
| 材质概述 | 玻璃 |
| 优点 | · 表面平整度高,面型精度好 · 透光性90%以上,可做透射式标定 · 图案边缘锐利、平滑,微米及亚微米级精度易实现 · 成像清晰 · 石英玻璃受温湿度影响极低 |
| 缺点 | · 常规光学玻璃脆性大,磕碰易崩边、碎裂 · 正面补光易反光 |
| 表面工艺 | 镀铬 |
| 基板厚度 | 2.3mm(公差±0.1mm) 3mm(公差±0.2mm) |
| 表面粗糙度 Ra | ≤0.05μm(镜面级) |
| 可见光透过率 | 85%~95%(透明) |
| 热膨胀系数 | 石英:5.0~5.5 × 10⁻⁷/℃ 苏打:8.5~9.5 × 10⁻⁶/℃ |
| 适用波长范围 |
紫外区:石英(185nm起),苏打 :(>360nm) 红外区:石英:(~3500nm),苏打:(2100–2200nm) 可见光区:两者均良好,石英更优 |
| 硬度与抗划伤 | 莫氏 5.5~6,易划伤 |
| 适用光路 | 透射式 + 反射式 |
| 典型应用 | 实验室高精度标定、显微视觉、透射标定 |
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